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GFC 質(zhì)量流量控制器的操作原理

更新時(shí)間:2023-05-06      瀏覽次數(shù):238

GFC 低成本鋁制或不銹鋼熱質(zhì)量流量控制器

設(shè)計(jì)特點(diǎn)

  • ± 1% FS 精度為標(biāo)準(zhǔn)

  • 剛性金屬結(jié)構(gòu)

  • 可用流量范圍從 0 到 10 sccm 到 0 到 1000 slpm

  • 最大壓力為 1000 psig (70 bars)

  • 泄漏完整性 1 x 10 -9 sccs 的氦氣

  • NIST 溯源認(rèn)證

  • 內(nèi)置可傾斜 LCD 讀數(shù)(某些型號(hào))

  • 本地或遠(yuǎn)程設(shè)定點(diǎn)控制

  • 0-5 Vdc 和 4-20 mA 信號(hào)

  • 電路保護(hù)

  • 累加器選項(xiàng)

操作原理

計(jì)量氣體被分成兩條層流路徑,一條通過(guò)主流量管道,另一條通過(guò)毛細(xì)管傳感器。兩個(gè)流道都被設(shè)計(jì)成確保層流,因此它們的流速比是恒定的。

傳感器管上的兩個(gè)精密感溫繞組被加熱,當(dāng)流動(dòng)發(fā)生時(shí),氣體將熱量從上游繞組傳遞到下游繞組。產(chǎn)生的溫差與傳感器繞組的電阻變化成正比。

惠斯通電橋設(shè)計(jì)用于監(jiān)測(cè)傳感器繞組上與溫度相關(guān)的電阻梯度,該電阻梯度與瞬時(shí)流速成線性比例。

生成 0 至 5Vdc 和 4 至 20mA 的輸出信號(hào),指示基于質(zhì)量分子的計(jì)量氣體流速。

The combined gas streams flow through a proportionating electromagnetic valve with an appropriately selected orifice. 閉環(huán)控制電路連續(xù)監(jiān)測(cè)質(zhì)量流量輸出并將其保持在設(shè)定的流量。

在規(guī)定的限制范圍內(nèi),流速不受溫度和壓力變化的影響。


GFC 質(zhì)量流量控制器

GFC 型熱質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)用于指示和控制氣體的設(shè)定流量。

GFC 以的低成本將傳統(tǒng)質(zhì)量流量設(shè)備的特性和精度結(jié)合到獨(dú)的緊湊型設(shè)計(jì)中。這些控制器中的每一個(gè)都包含一個(gè)先進(jìn)的“U"形管傳感器以及由用于非腐蝕性氣體的鋁和黃銅或用于腐蝕性應(yīng)用的 316 不銹鋼制成的流道元件。可從變送器外部進(jìn)行調(diào)零和量程調(diào)整。


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