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這些電容式傳感器采用陶瓷濕度傳感器技術(shù),采用薄膜技術(shù)。該傳感器依賴(lài)于夾在兩個(gè)導(dǎo)電層之間的多孔絕緣層對(duì)水蒸氣的吸附。
水分子進(jìn)入多孔絕緣體部分改變了頂部多孔導(dǎo)電層和底部導(dǎo)電層之間的電容。
該電容量(電容)被檢測(cè)為水量,并通過(guò)傳感器內(nèi)部的數(shù)字處理作為線(xiàn)性輸出輸出。
該傳感器的陶瓷絕緣層厚度小于0.5微米,頂部多孔導(dǎo)電層厚度為0.1微米,使其能夠?qū)λ魵夂康奈⑿∽兓龀隹焖夙憫?yīng)
。盡管傳感器很薄,但它堅(jiān)固耐用。
由于上層是濺射在作為底層的陶瓷基底上,因此可以保持每層的均勻性,從而確保穩(wěn)定的測(cè)量。