Tergeo-Plus桌面等離子體系統(tǒng)
唯的一的不同的是Tergeo-plus和泰爾吉奧等離子清潔器是樣品室的大小和射頻功率。樣品室的內(nèi)徑從Tergeo中的4.3英寸/110毫米增加到Tergeo-plus中的6.3英寸/160毫米。樣品室的深度是相同的，例如11英寸/280毫米。
Tergeo-plus等離子清潔器的應用與標準Tergeo等離子清潔器相似，只是它可以容納更大的樣品。以下是典型應用列表:
特點:
- 德國萊茵TV認證并確認
UL、獨的立的選舉委員會和加空局
61010-1安全標準。NRTL
順從！ - 大樣品室(內(nèi)徑:160毫米，長280毫米)。足以容納一個4英寸的晶舟和一個6英寸的晶片。
- 清洗模式:直接模式和下游模式。用于兩種等離子體清洗模式的雙等離子體源。用于高速蝕刻和表面改性的直接模式等離子體清洗:遠程/下游模式等離子體清洗，用于溫和去除表面污染物，例如SEM/TEM樣品清洗。
- 連續(xù)和脈沖等離子體。脈沖比可以從100%(連續(xù))變化到小于1%。Tergeo等離子體系統(tǒng)不僅能以1瓦的間隔調(diào)節(jié)射頻功率，還能產(chǎn)生連續(xù)的脈沖等離子體。改變等離子體強度幾個數(shù)量級以上。
- 操作方法:自動配方執(zhí)行；自動作業(yè)序列執(zhí)行；人工操作。
- 等離子體傳感器:雙等離子體強度傳感器(專的利的申請中)監(jiān)控原位等離子體源和遠程等離子體源。等離子體強度實時顯示在LCD觸摸屏上。
- 先進的過程控制功能:壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流量計、雙等離子體強度傳感器、自動阻抗匹配。
- 腔體材料:鋁法蘭和厚壁高純度石英管增強了耐化學性，減少了耐熱玻璃中的堿性雜質(鈣、鉀、鈉)。
- 樣品架:2mm厚的高純度石英板
- 腔體尺寸:內(nèi)徑:160毫米；外徑:170mm深度280毫米
- 射頻電極:與其他等離子清潔器中的內(nèi)部金屬電極相比，外部射頻電極和天線設計減少了金屬濺射。
- 射頻電源:13.56MHz高頻射頻電源，自動阻抗匹配，用于原位等離子體源。射頻功率有三種選擇:13.56兆赫的150瓦、300瓦和500瓦。射頻功率可以1瓦為間隔進行調(diào)整。13.56MHz射頻電源產(chǎn)生的等離子體密度比低效率的KHz電源高得多。
- 氣體輸入:最多三個MFC控制的氣體輸入(0~100sccm)。一個用于通風和吹掃的附加端口。英制世偉洛克壓縮接頭連接器。
- 用戶界面:7英寸電阻觸摸屏，用手指觸摸，無需手寫筆。
- 食譜和工作支持:總共20個可定制的食譜。作業(yè)序列中最多三個清洗步驟。
要求:
- 交流輸入:110V~230V通用交流電源支持
- 抽水口:NW/KF25
- 抽真空速度:2.0 cfm或更高。
- 真空泵的極限壓力:50mTorr或更低
更新時間：2023-11-14 
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