SHASHINA KAGAKU日本寫(xiě)真化學(xué) 緊湊型膜厚監(jiān)控儀

更新時(shí)間：2023-12-08

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緊湊型膜厚監(jiān)控儀是一種反射分光光度計(jì)，使用小型反射探頭，適用于從

實(shí)驗(yàn)室水平到生產(chǎn)過(guò)程中在線100%檢測(cè)的所有情況。它具有出色的可維

護(hù)性，可用于過(guò)程設(shè)備和生產(chǎn)線管理。
最多可同時(shí)測(cè)量9種類(lèi)型的透明薄膜。
它可用作各種多層薄膜工藝的在線或終點(diǎn)監(jiān)控器。
緊湊型探針可以安裝在加工工具內(nèi)部的小空間中。還可以通過(guò)使用EMA理

論來(lái)判斷混合層的混合比或多晶硅的結(jié)晶度。

緊湊型光纖探頭

可以安裝在加工工具內(nèi)部的小空間中

膜厚測(cè)量0.1nm (3o) 的重復(fù)性好

可測(cè)量多達(dá)9層的多層膜厚度

使用旋涂機(jī)檢測(cè)終點(diǎn)的視頻

可選擇光源

光源

白光LED

鎢合金

Deuterlum鹵素

波長(zhǎng)范圍(nm)

430-700

400-900

220900

無(wú)線 (選項(xiàng))

包含膜厚終點(diǎn)檢測(cè)軟件

靶厚度范圍 (nm)典型使用壽命 (小時(shí))

50--50,000

10--30,000

>50.000

10,000

1,000

電影1:終端監(jiān)視器的演示1

電影2:終端監(jiān)視器的演示2

材料分析功能

用EMA評(píng)價(jià)復(fù)合材料的混合比

自動(dòng)映射階段 (選件)

結(jié)晶度與光學(xué)常數(shù)分析

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