亚洲日韩Av无码中文字幕美国,17c免费在线观看,欧美乱子伦xxxx12在线,国产最新网站

產(chǎn)品分類(lèi)

products category

技術(shù)文章/ article

您的位置:首頁(yè)  -  技術(shù)文章  -  超聲與兆聲的比較,兆聲波在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

超聲與兆聲的比較,兆聲波在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

更新時(shí)間:2024-01-04      瀏覽次數(shù):754

超聲波與兆聲波的比較

德國(guó)sonosys超聲波清洗 

LIGA 技術(shù)開(kāi)發(fā)過(guò)程中 40 kHz 和 1 MHz 超聲波頻率的比較

應(yīng)用兆聲波的一個(gè)重要優(yōu)勢(shì)是能夠順利清潔極其脆弱的微結(jié)構(gòu)。左圖顯示顯微結(jié)構(gòu)已被40 kHz超聲

波頻率的高空化能量破壞。被破壞的山脊厚度約為。4微米。在 1 MHz 超聲波頻率下,微觀結(jié)構(gòu)保

持不變(右圖)。

 

破壞了脆弱的微觀結(jié)構(gòu)約。200 µm 高,以 40 kHz 頻率開(kāi)發(fā)。

未損壞的易碎微觀結(jié)構(gòu),高 400 µm,以 1 MHz 頻率開(kāi)發(fā)。

 

高縱橫比微結(jié)構(gòu)開(kāi)發(fā)的工藝支持

當(dāng)通過(guò) X 射線(xiàn)光刻生產(chǎn)微結(jié)構(gòu)時(shí),致密和深層結(jié)構(gòu)的無(wú)殘留開(kāi)發(fā)尤為重要。

在高縱橫比的微結(jié)構(gòu)(例如LIGA技術(shù))的開(kāi)發(fā)過(guò)程中,由于產(chǎn)生的微流,顆粒被完的全沖走,開(kāi)發(fā)時(shí)

縮短了7倍。對(duì)于脆弱的結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)的深度可以增加 2 倍。

 

在沒(méi)有兆聲波支持的情況下開(kāi)發(fā)的微觀結(jié)構(gòu)

在兆聲波支持下開(kāi)發(fā)的微觀結(jié)構(gòu)






版權(quán)所有©2025 深圳九州工業(yè)品有限公司 All Rights Reserved   備案號(hào):粵ICP備2023038974號(hào)   sitemap.xml   技術(shù)支持:環(huán)保在線(xiàn)   管理登陸