WONIK QnC創(chuàng)立于1983年,是一家專門制造和供應(yīng)生產(chǎn)半導(dǎo)體晶圓所使用的石英部件
和生產(chǎn)半導(dǎo)體及顯示器所使用的陶瓷部件的復(fù)合材料零部件專業(yè)公司。
特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
客戶滿意的最的佳的品質(zhì)
ISO 9001, 14001, 27000, 45001
擁有大型三維測(cè)量?jī)x(4000x1600)和300mm Zygo干涉儀
陶瓷零部件統(tǒng)一生產(chǎn)體系
功能性零部件制造
ESC, AlN Heater, pBN 高溫 ESC, Pulse Heater, Wafer Table
客戶定制式產(chǎn)品 (設(shè)計(jì)模擬, 制作, 評(píng)估)
吸盤 (ESC)
Item | Unit | AW100H | AS250H |
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Color | - | Right gray | Black |
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Relative density | % | ≥ 99.7 | ≥ 99.0 |
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Dielectric constant (1MHz) | F/m | 10.5 | 11 |
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Dielectric loss (1MHz) | - | 2 X 10-3 | 2 X 10-3 |
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Volume resistivity | RT | Ω•cm | 2 X 1016 | 1 X 1016 |
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Bending strength | MPa | ≥ 500 | ≥ 500 |
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Vickers hardness | HV | ≥ 1800 | ≥ 2100 |
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熱壓粘合加熱器
Properties | Single-Zone | Multi-Zone |
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Use Temperature (℃) | >400℃ | >400℃ |
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Heating Rate (℃/sec) | 200 | 40 |
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Cooling Rate (℃/sec) | 100 | 10 |
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Thermal Conductivity (W/m·K) | 200 | 200 |
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Uniformity (@400℃) | <3℃ | <10℃ |
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Size (mm) | 12, 16, 22 | 50, 60, 70, 120 |
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