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產(chǎn)品中心/ products
ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 濺射離子泵 分析儀PST-030CU/AUCRYO-U系列,是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同,從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。
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ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 濺射離子泵 分析儀PST-030CU/AU
ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 濺射離子泵 分析儀PST-030CU/AU
輕量?緊湊、標準尺寸最小的泵
適用于實驗室和研究室的小型真空設(shè)備。
可以多臺運行(最多3臺)
可以達到超高真空(10-8Pa以下)
膜片泵通過橡膠膜片的往復(fù)運動來形成真空。
泵體結(jié)構(gòu)采用無油環(huán)境設(shè)計、因此維護簡單。
根據(jù)您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設(shè)計。
價格低廉,銷售量多的標準型干式真空泵。
氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。
豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應(yīng)用需求。
單級排氣系統(tǒng)比兩級排氣系統(tǒng)更快。
具有鎖定保護和過流保護功能等安全設(shè)計。
大氣壓下可以運作。
真空吸盤,晶圓和處理設(shè)備。
真空鑷子,醫(yī)療器械。
印刷設(shè)備。
自動包裝機。
光學(xué)器具。
半導(dǎo)體行業(yè)。
注塑機。
膜片泵通過橡膠膜片的往復(fù)運動來形成真空。
泵體結(jié)構(gòu)采用無油環(huán)境設(shè)計、因此維護簡單。
根據(jù)您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設(shè)計
價格低廉,銷售量多的標準型干式真空泵。
氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。
豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應(yīng)用需求。
兩級排氣系統(tǒng)與單級排氣系統(tǒng)相比具有更低的壓力(良好的真空)。
內(nèi)置自動復(fù)位型熱保護器等安全設(shè)計。
大氣壓力下可運作。
結(jié)構(gòu)簡單,維護方便。
Unit | 50Hz | 60Hz | |
有效排氣速度 | L/min | 120 | 145 |
極限壓力 | Pa (kPa) | 3.3×10 3 (-98.0) | |
使用電動機 | 単相, 100V, 400W, 4P, Capacitor run | ||
全負荷電流 | A | 4.8 | 5.8 |
重量 | kg | 26.0 | |
吸?排氣口徑 | mm | ODΦ16×IDΦ12 (G 1/2) | |
使用環(huán)境溫度范圍 | ℃ | 0~40 | |
最大尺寸 | mm | 193.5(W)×411(L)×285(H) |