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產(chǎn)品中心/ products
ulvac-kiko皮拉尼真空計 傳感器型 離子濺射儀SW1-1該真空計從傳統(tǒng)的控制器(傳感器單元)中除去操作·顯示部,最大限度凝縮精簡功能,使「降成本」和「省空間」成為可能。
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優(yōu)異的大氣壓精度:無論真空計的安裝位置如何,精度均在±20%以內(nèi)
燈絲材料·鉑(Pt):由高度耐腐蝕的鉑制成的燈絲
可視化程度提高:配備可確認異常的LED
一觸式調整:一鍵式即可進行大氣壓力調整和零點調整
維護:更換測定子更輕松
適用測定子擴展:除了NW16 / 25規(guī)格外,還將Φ15/ 18規(guī)格,拼接法蘭規(guī)格和錐形螺絲R1 / 8規(guī)格添加到產(chǎn)品陣容中
太陽能電池?FPD?半導體?電子部件等各種制造設備
用于設備的低真空領域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設備的低真空領域的工藝控制
用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設備的低真空領域的工藝控制
用于有振動?沖擊的各種真空排氣系統(tǒng)
該真空計從傳統(tǒng)的控制器(傳感器單元)中除去操作·顯示部,最大限度凝縮精簡功能,使「降成本」和「省空間」成為可能。
優(yōu)異的大氣壓精度:無論真空計的安裝位置如何,精度均在±20%以內(nèi)
燈絲材料·鉑(Pt):由高度耐腐蝕的鉑制成的燈絲
可視化程度提高:配備可確認異常的LED
一觸式調整:一鍵式即可進行大氣壓力調整和零點調整
維護:更換測定子更輕松
適用測定子擴展:除了NW16 / 25規(guī)格外,還將Φ15/ 18規(guī)格,拼接法蘭規(guī)格和錐形螺絲R1 / 8規(guī)格添加到產(chǎn)品陣容中
太陽能電池?FPD?半導體?電子部件等各種制造設備
用于設備的低真空領域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設備的低真空領域的工藝控制
用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設備的低真空領域的工藝控制
用于有振動?沖擊的各種真空排氣系統(tǒng)
該真空計從傳統(tǒng)的控制器(傳感器單元)中除去操作·顯示部,最大限度凝縮精簡功能,使「降成本」和「省空間」成為可能。