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日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺 MVXA05A-R1021.真空兼容自動X平臺，采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌。2.進(jìn)給方式采用高分辨率磨削螺桿。3.采用真空對應(yīng)5相步進(jìn)電機(jī)。
產(chǎn)品型號：MVXA05A-R102廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-10-10訪 問 量：91
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日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺 MVXA05A-R102
注釋/特點
1.真空兼容自動X平臺，采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌。
2.進(jìn)給方式采用高分辨率磨削螺桿。
3.采用真空對應(yīng)5相步進(jìn)電機(jī)。
機(jī)械規(guī)格
模型 MVXA05A-R102
桌面 50毫米×50毫米
指導(dǎo)方法 精密交叉滾子導(dǎo)軌
移動范圍 ±7.5毫米
飼養(yǎng)方法 接地螺絲，導(dǎo)程0.5mm
分辨率全/半 1μm/0.5μm
分辨率 微步（1/20 格） 0.05μm
最大速度 2.5毫米/秒：半5kpps
累計導(dǎo)程誤差 ≤6μm/15mm
重復(fù)定位精度 ≤±0.5μm
失去運(yùn)動 ≤1μm
水平真直度 ≤1μm/15mm
垂直真直度 ≤1μm/15mm
反彈 ≤1μm
力矩剛度 0.31 弧秒/N?cm
水平承載能力 49N（5公斤力）
材質(zhì) 鋁合金
自重 0.66公斤
日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺 MVXA05A-R102
注釋/特點
1.真空兼容自動X平臺，采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌。
2.進(jìn)給方式采用高分辨率磨削螺桿。
3.采用真空對應(yīng)5相步進(jìn)電機(jī)。
機(jī)械規(guī)格
模型 MVXA05A-R102
桌面 50毫米×50毫米
指導(dǎo)方法 精密交叉滾子導(dǎo)軌
移動范圍 ±7.5毫米
飼養(yǎng)方法 接地螺絲，導(dǎo)程0.5mm
分辨率全/半 1μm/0.5μm
分辨率 微步（1/20 格） 0.05μm
最大速度 2.5毫米/秒：半5kpps
累計導(dǎo)程誤差 ≤6μm/15mm
重復(fù)定位精度 ≤±0.5μm
失去運(yùn)動 ≤1μm
水平真直度 ≤1μm/15mm
垂直真直度 ≤1μm/15mm
反彈 ≤1μm
力矩剛度 0.31 弧秒/N?cm
水平承載能力 49N（5公斤力）
材質(zhì) 鋁合金
自重 0.66公斤
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