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關(guān)于日本連桿測量機(jī)的特點(diǎn)和測定方法
2024-09-04產(chǎn)品中心/ products
日本sasaki-koki非接觸式測厚儀OZUMA CL <應(yīng)用>半導(dǎo)體晶圓(各種材質(zhì))硅、Si.GaAs、砷化鎵、金屬、化合物等高精度非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)<特點(diǎn)>1.激光方法允許非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)并且不會(huì)造成劃痕或污染等損壞2。可實(shí)現(xiàn)高精度非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)3.可重復(fù)測量厚度、翹曲度、平行度等。
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日本sasaki-koki非接觸式測厚儀OZUMA CL
<應(yīng)用>
半導(dǎo)體晶圓(各種材質(zhì))硅、Si.GaAs、砷化鎵、金屬、化合物等高精度非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
<特點(diǎn)>
1.激光方法允許非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)并且不會(huì)造成劃痕或污染等損壞
2??蓪?shí)現(xiàn)高精度非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
3.可重復(fù)測量厚度、翹曲度、平行度等。
4.由于使用彼此垂直布置的激光傳感頭進(jìn)行測量,因此可以精確地測量厚度,而不會(huì)受到被測量物體的“翹曲"引起的浮起的影響。
<性能>
分辨率 0.01μm
最大測量范圍10mm
供電電源AC100V 50/60Hz 3A
重量:約10公斤
日本sasaki-koki非接觸式測厚儀OZUMA CL
<應(yīng)用>
半導(dǎo)體晶圓(各種材質(zhì))硅、Si.GaAs、砷化鎵、金屬、化合物等高精度非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
<特點(diǎn)>
1.激光方法允許非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)并且不會(huì)造成劃痕或污染等損壞
2。可實(shí)現(xiàn)高精度非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
3.可重復(fù)測量厚度、翹曲度、平行度等。
4.由于使用彼此垂直布置的激光傳感頭進(jìn)行測量,因此可以精確地測量厚度,而不會(huì)受到被測量物體的“翹曲"引起的浮起的影響。
<性能>
分辨率 0.01μm
最大測量范圍10mm
供電電源AC100V 50/60Hz 3A
重量:約10公斤