ulvac-kiko濺射設(shè)備主泵油霧捕集器離子濺射儀

ulvac-kiko濺射設(shè)備主泵油霧捕集器VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
將架臺上的油擴(kuò)散泵，油回轉(zhuǎn)泵，皮拉尼真空計，閥門配管，電氣系統(tǒng)，壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設(shè)備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于大型基板的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實驗用途。

產(chǎn)品型號：VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2023-04-11
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ulvac-kiko濺射設(shè)備主泵油霧捕集器VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)

將架臺上的油擴(kuò)散泵，油回轉(zhuǎn)泵，皮拉尼真空計，閥門配管，電氣系統(tǒng)，壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設(shè)備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設(shè)備。

適用于大型基板的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實驗用途。

特點

玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
通過追加蒸發(fā)電源和電極，可同時蒸發(fā)或多層蒸發(fā)。
更改為EB規(guī)格，可成膜高熔點的材料。
蒸發(fā)設(shè)備帶有腳輪，移動更為容易。
帶有調(diào)節(jié)器，可確保設(shè)置的安全性。

規(guī)格

型式		VPC-1100
真空性能	極限壓力	4.0×10^-４Pa 1.3×10^-４Pa（液體氮氣使用時）
真空性能	排氣時間	4.0×10^-３Pa/10min 10^-４Pa臺/10min（液體氮氣使用時）
真空槽	真空槽	玻璃鐘罩（內(nèi)徑Φ390mm×高350mm)
	饋通圈	20端口(側(cè)面14/底面6)
	基板推薦尺寸?最大尺寸	□50mm ? □220mm（Max）
電源系統(tǒng)	蒸發(fā)電極構(gòu)成	3點式
電源系統(tǒng)	蒸發(fā)電源?數(shù)量	SEREM PSE-150C?1 式 0～10V 150A（Max)
排氣系統(tǒng)	主泵	油擴(kuò)散泵（水冷）　1100L/sec
	液體氮氣捕集器	有
	補(bǔ)助泵	油回轉(zhuǎn)泵　200L/min、2臺
	油霧捕集器	選項
操作系統(tǒng)	主閥	蝶閥
	補(bǔ)助閥	三通閥
	自動泄露閥	選項
	操作	手動
控制系統(tǒng)	皮拉尼真空計	GP-1G
控制系統(tǒng)	電離真空計	選項
設(shè)置	最大尺寸　　本體	1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H）
	電源	設(shè)備本體收納

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